是利用热辐射原理，保持液体温度低于沸点温度蒸发，再将其酸蒸气冷凝从而制备高纯水和高纯试剂，广泛应用于样品处理及分析中。高纯酸蒸馏系统，所用容器均采用PFA耐腐蚀无吸附可溶性聚四氟乙烯，可以处理HNO3、HCL、HF等实验室的常用酸。实验证明将金属杂质含量约10PPB的酸经过一次蒸馏后，金属杂质含量可以降低到0.01PPB左右。若对酸要求更高，可增加提纯次数。